【環　境】荏原製作所　コンパクトで高生成物耐性を備えた燃焼式排ガス処理装置を販売

荏原製作所は２０２５年１月より、半導体製造におけるプロセスガスの無害化処理を行う燃焼式排ガス処理装置ＬＰＣＭＮ型の販売を開始する。

同社は、半導体製造プロセスで使用されるさまざまな新しい特殊材料ガスを、安全に無害化処理するだけでなく、その過程で発生する反応性副生成物の発生を抑え、排ガス処理装置の連続稼働時間を伸ばし、生産ラインを停止させないというニーズに対応するため、同社従来製品のＴＮＤ型より更に処理性能・耐久性能を向上させた新型排ガス処理装置ＬＰＣＭＮ型を開発した。同製品は、副生成物付着の抑制とＮＯｘ／ＣＯｘ排出量削減の両立、燃料として化石燃料の他、新たに水素燃料も使用できる。

荏原製作所は今後も、多様化する半導体業界のさらなる発展と長期ビジョン「Ｅ－Ｖｉｓｉｏｎ２０３０」で掲げる「進化する豊かなくらしづくり」に貢献し、またグループとしては、長期ビジョンと中期経営計画に基づいてＥＳＧ重要課題に取り組むことで持続可能な開発目標（ＳＤＧｓ）の達成を目指し、更なる企業価値の向上を図る。

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